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矩形磁控阴极

发布时间:2016-05-26 16:43  

 

  矩形磁控阴极:

 

随着工业应用对速度,可控性和产能越来越高的要求,我们开发了合适的阴极来适应这些要求更大、更快的制造工艺。

更广泛的解决方案
     
对于那些需要在大面积基板上沉积或必须实现极高的吞吐量的应用,矩形磁控阴极提供了完美的解决方案。

专利优势
    
矩形磁控阴极采用完全封装的专利异形钕铁硼稀土磁体和专利水冷技术,提供无与伦比的性能。

标准配件
    
我们使用ISO NW标准配件,以及金属密封法兰。所有的维护操作都在大气中进行,使用标准的O型圈密封,易于安装在任何标准的真空系统中。

电源兼容性
    
低阻抗头提供了射频、直流 、中频直流、直流脉冲以及微波电源的兼容性。

经过验证的性能
    
这些磁控阴极提供的无与伦比的性能,使得成为行业的新标准。
    
在极低的压力下以极高的功率工作,为您提供在任何应用中的均匀性、利用率和速率的完美平衡。

任何长度
    
矩形阴极宽度可从1.5英寸到16英寸,长度可达12英尺 当然,我们完全具备设计并构建定制任何满足您的生产需求的磁控阴极。

品质保证
    
致力于帮助我们的客户开发最有生产力的和具有成本效益的薄膜应用,提供世界上最先进的磁控阴极,高品质的沉积材料,全面的技术支持。我们随时准备着以确保您的满意度。

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