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纳米压印

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纳米压印技术NIL(NanoImprint Lithography technology）类似于古代的印章，是一项图形转移和复制技术。1995年，普林斯顿大学纳米结构实验室Stephen Y.Chou教授通过机械力在涂有高分子材料的硅基板上等比例压印复制了模版上的纳米图案，其加工分辨率只与模版图案尺寸有关，而不受光刻最短曝光波长的物理限制，由此引出纳米压印技术。

纳米压印仪

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