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真空镀膜就是置待镀材料和被镀基板于真空室内，采用一定方法加热待镀材料，使之蒸发或升华，并飞行溅射到被镀基板表面凝聚成膜的工艺。
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磁控溅射是电子在电场E的作用下，在飞向基片过程中与氩原子发生碰…更多》 -
在高真空下，电子枪灯丝加热后发射热电子，被加速阳极加速，获得很…更多》
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LOAD LOCK Chamber (option) LOAD LOCK预真空进样室（可选）Cham…更多》
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有机/金属热蒸发-沉积镀膜设备通过加热材料的方法,在衬底上沉积各…更多》
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原子层沉积Atomic Layer Deposition，典型的原子层沉积(ALD)应用是…更多》 -
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