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LOAD LOCK Chamber (option) LOAD LOCK预真空进样室（可选）Chamber with front open door 前开门蒸发腔体 Cryopump and dry pump
冷凝泵和干泵 Multiple thermal evaporation sources or OLED sources 多个热阻蒸发源或OLED低温蒸发源 Max. 6” substrate ******6”基片
