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热阻蒸发
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LOAD LOCK Chamber (option)  LOAD LOCK预真空进样室(可选)Chamber with front open door  前开门蒸发腔体  Cryopump and dry pump

冷凝泵和干泵  Multiple thermal evaporation sources or OLED sources  多个热阻蒸发源或OLED低温蒸发源  Max. 6” substrate   最大6”基片

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