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有机/金属热蒸发-沉积镀膜设备
通过加热材料的方法,在衬底上沉积各种化合物/混合物单层或多层膜。
由独立结构的热蒸发源组成，互不关联。
镀膜室均采用真空专用的不锈钢，内直径320mm，高度400mm左右，内外表面玻璃丸喷砂处理，配3套备用法兰口。金属蒸发电源2套，有机蒸发电源1套。真空系统配备分子泵，机械泵
