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溅射靶枪
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矩型磁控溅射阴极

发布时间:2016-05-26 16:39  

  柱形磁控阴极:

 

  圆柱磁控阴极在镀膜玻璃行业得到广泛的的信任,提供了优秀均匀性的同时实现靶材利用率最大化。现在,结构紧凑,重量轻,经济的圆柱形磁控阴极在平板显示器、太阳能电池、和Web涂层应用中实现。


定制设计
    
提供完整的组件,直径从3英寸到6英寸。

经济和完全兼容的投资
    
采用了通用的和具有性价比的设计以适应任何类型的靶材。而且它被设计成使用现成的组件,以实现廉价的、长期的投资和可靠性。

专利技术
    
专利磁体技术创建一个源和工件之间的接近正常的沉积分布。改进的沉积分布使得腔体上的碎片沉积减少。
    
此外,磁铁阵列能提供更高的磁场强度,它允许以较低的功耗来达到常规的沉积速率。

节省材料,节约能耗
    
通常圆柱磁控阴极可以在相同面积上容纳平面磁控阴极三倍的靶材。可进一步提升85%的靶材利用率。另外,因为工作在较低的功率下,可以降低20%的功耗。

品质保证
    
致力于帮助我们的客户开发最有生产力的和具有成本效益的薄膜应用,提供世界上最先进的磁控阴极,高品质的沉积材料,全面的技术支持。我们随时准备着以确保您的满意度。

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