300mm通用组合水平式检测干涉仪
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- 行业应用
- 技术资料
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（1）应用领域
●光学平面计量
●半导体晶圆
●半导体掩膜版基板
●同步辐射
●光刻机光学元件
●航空航天折返成像系统
●空间光学器件
●强激光平板玻璃测量等
实现大口径光学表面面形、透射波前、光学均匀性等参数的检测。
（2）产品综述
300mm通用组合水平式检测干涉仪是慧利仪器“大口径相移式激光干涉仪系列产品之一。它采用经典的斐索型共光路设计，结构简单、在适用于多种被测样品的前提下，使用数字化相移分析方法实现高精度、多功能的检测。
慧利仪器300mm通用组合水平式检测干涉仪不仅实现了干涉测量技术从小口径到大口径的更新拓展，而且填补了国内制造业和国家质检部]对高精度平面检测设备需求的空白。
（3）参数性能
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测量原理： |
斐索干涉原理 |
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光源波长： |
632.8nm（稳频氦氖激光器）/633nm(波长调谐激光器） |
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样品准直： |
双光点对准，对准角±3度 |
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电源: |
AC 220V 50HZ |
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操作系统： |
Windows系统，银河麒麟操作系统 |
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CCD分辨率： |
1024*1024像素 2048*2048像素 |
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软件： |
HL 数字化相移分析软件 |
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精密度： |
≤入/600 |
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PV测量重复性： |
≤入/600 |
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RMS测量重复性： |
≤入/8000 |
| RMS波前重复性： | ≤入/1800 |
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透射平面镜精度： |
A/20 PV |
◆材质均匀性
◆超精密平面/球面面形测量
◆光学系统装调和校准
◆光学组件透射波前测量
◆光学均匀性测量
◆平行度测量
◆角锥角度测量
◎◎我们会倾听您的需求，支持特殊需求定制
部分客户群体：苏州计量院,上海计量院,福建计量院,上海光机所,石家庄13所,
上海现代先进超精密制造中心有限公司UPEC,长春理工,上海理工等。
●光学平面计量
●半导体晶圆
●半导体掩膜版基板
●同步辐射
●光刻机光学元件
●航空航天折返成像系统
●空间光学器件
●强激光平板玻璃测量等
实现大口径光学表面面形、透射波前、光学均匀性等参数的检测。
