NPflex 大样品计量检测光学轮廓仪

针对大样品设计的非接触测试分析系统

（1）灵活测量大尺寸样品，满足高难度测量角度的精确测量

（2）高效的三维表面信息测量

（3）垂直方向纳米分辨率提供更多的细节

（4）快速获取测量数据，测试过程迅速高效

布鲁克的NPpuExXM3D表面测量系统为精密制造业带来前所未有的检测性能，实现更快的试产扩量时间，提高了产品质量和生产力。基于白光千涉的原理，这套非接触系统提供了诸多先进的优点，远超通常接触式坐标测量仪(CMM)和工业级探针式轮廓仪的测量技术所能提供的。这些测量优势包括高分辨的三维图像，进行快速丰富的数据采集，帮助用户更深入地了解部件的性能和功能。积累几十年的干涉技术和大样品测量仪器设计的经验，NPruExM可以灵活地测量大尺寸样品的光学测量系统，而且能够高效快捷地获得从微观到宏观等不同方面的样品信息。

其灵活性表现在可用于测量表征更大的面型和更难测的角度

（1）创新性的空间 设计使得可测零件(样品)更大(高达330毫米)、形状更多

（2）开放式龙门、定制的夹具和可选的旋转测量头可轻松测量待测部位

高效的三维表面信息测量

（1）每次测量均可获取整个表面高度信息，用于各种分析

（2）更容易获得更多的测量数据来帮助分析

垂直方向纳米分辨率提供更多的细节

（1）干涉技术实现每一个测量象素点上的亚纳米级别垂直分辨率

（2）工业界使用多年业已验证的干涉技术提供具有统计意义的数据，为日渐苛刻的加工工艺提

供保障

测量数据的快速获取保证了测试的迅速和高效

（1）最少的样品准备时间和测量准备时间

（2）比接触法测量(一条线)更大的视场(一个面)获得表面更多的数据

技术参数