（1）应用领域

●计量领域（平面平晶检测）

●半导体工业（晶片检测）

●大平板显示（平面检测）

●手机工业（背板检测）

●光学加工（窗口玻璃检测）

●高精度精密机械（平面元件检测）

●LED工业（蓝宝石衬底检测）

●数据存储和科研院校教学仪器等多种领域。

●平面平晶、窗口玻璃、光学平面、金属平面、陶瓷平面等 

●光滑表面面形的高精度快速测量，90°直角棱镜和角锥测量。

                      （2）产品综述

   无应力平面检测干涉仪是高性能模块化组合检测干涉仪中的一种，它采用组合式激光干涉仪作为核心部件，主要用于高效检测高精度平面。

   该产品包括光源、主机、成像以及镜头和相移等四大模块，主要技术指标已达到国际水平, 采用更加简便操作的俯式测量，拥有极高的测量精度和测量重复性，突破了一等平面平晶限制，且其采样点可达上百万像素，能客观反映被测平面全貌。不仅测量精度高，而且具有极高的测量效率。

   此款干涉仪可广泛应用高精度光学元件制造、计量检测、生物医学、航空航天、国防、微电子、能源等众多领域，具有广阔的市场前景。

                     （3）参数性能

◆材质均匀性
◆超精密平面/球面面形测量
◆光学系统装调和校准
◆光学组件透射波前测量
◆光学均匀性测量
◆平行度测量
◆角锥角度测量
 ◎◎我们会倾听您的需求，支持特殊需求定制

   部分客户群体：苏州计量院,上海计量院,福建计量院,上海光机所,石家庄13所,上海现代先进超精密制造中心有限公司UPEC,长春理工,上海理工等。

计量领域（平面平晶检测），半导体工业（晶片检测），大平板显示（平面检测），手机工业（背板检测），光学加工（窗口玻璃检测），高精度精密机械（平面元件检测），LED工业（蓝宝石衬底检测），数据存储和科研院校教学仪器等多种领域。

平面平晶、窗口玻璃、光学平面、金属平面、陶瓷平面等光滑表面面形的高精度快速测量，90°直角棱镜和角锥测量。