无应力平面检测干涉仪

        1.应用领域：

计量领域（平面平晶检测），半导体工业（晶片检测），大平板显示（平面检测），手机工业（背板检测），光学加工（窗口玻璃检测），高精度精密机械（平面元件检测），LED工业（蓝宝石衬底检测），数据存储和科研院校教学仪器等多种领域。

平面平晶、窗口玻璃、光学平面、金属平面、陶瓷平面等光滑表面面形的高精度快速测量，90°直角棱镜和角锥测量。                                                                                                                                          

2.产品综述：

无应力平面检测干涉仪（数字化相移分析系列）是高性能模块化组合检测干涉仪中的一种，它采用国内外首创的组合式激光干涉仪作为核心部件，主要用于高效检测高精度平面，是苏州慧利仪器有限责任公司最新推出的尖端力作。该产品包括光源、主机、成像以及镜头和相移等四大模块，主要技术指标已达到国际一流水平，采用更加简便操作的俯式测量，其拥有极高的绝对测量精度PV和绝对测量重复性RMS，并突破了一等平面平晶限制，且其采样点可达上百万像素，能客观反映被测平面全貌。不仅测量精度高，而且具有极高的测量效率。此款干涉仪可广泛应用高精度光学元件制造、计量检测、生物医学、航空航天、国防、微电子、能源等众多领域，具有广阔的市场前景。                                                                                                                             

3.性能参数：