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常温键合
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常温键合

发布时间:2016-03-28 15:29  

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    常温键合机应用于:

    晶圆级封装

    对MEMS器件、石英器件没有热应变,实现了无热应变的晶片级封装,达到质量改进和降低成本的目标。

    功能晶圆生产

    特殊功能晶圆的生产,如由不同种类的材料制成的,例如,氧化物,电介质和光学材料。

    应用于高价值产品的直接键合

    室温键合用于提高半导体材料的直接键合效率。

    三维结构堆叠

    TSV通过室温无热应力粘接键合。

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